江苏大利邦申请用于传感器离子束溅射镀膜设备的基片旋转架结构专利，提高传感器基片镀膜效率

2024年12月17日消息，国家知识产权局信息显示，江苏大利邦精密制造有限公司申请一项名为“一种用于传感器离子束溅射镀膜设备的基片旋转架结构”的专利，公开号 CN 119121148 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明涉及离子束溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种用于传感器离子束溅射镀膜设备的基片旋转架结构，包括旋转杆，所述旋转杆的上端固定安装有安装盘，所述安装盘上竖直转动安装有多根转动轴，多根所述转动轴的下端均固定安装有十字支撑板，所述十字支撑板上安装有传感器基片，所述转动轴的上端固定安装有转动柱，所述转动柱侧面开设有螺旋槽，所述安装盘上通过支架固定安装有电控气缸，所述电控气缸的输出轴通过升降盘安装有多根传动杆本发明通过电控气缸、升降盘、传动杆、转动柱、螺旋槽和转动轴的相互配合，带动十字支撑板转动180°，实现传感器基片的自动翻转，操作简单，省时省力，有效的提高传感器基片镀膜效率。